미세조직/미소성분분석장비
| 기자재명 | 규격 | 용도 |
|---|---|---|
| Electron Probe Micro Analyzer(EPMA) (미소성분분석기) |
Resolution : 6nm, Acceleratingvoltage:0.5～50KV, Magnification :x40～300,000 |
미세조직 성분분석기 |
| Scanning Electron Microscope(SEM) (주사전자현미경) |
Resolution : 3.5nm, Accelerating voltage :0.5～30KV |
파단면관찰 및 미세조직분석 |
| X-ray Diffractiometer | X-ray | 상분석등 |
| 광학 현미경 | 배율 : 50배-500배 | 미세조직관찰 |
| 상안실체줌현미경 | 1배- 50배 | 저배율파단면분석 |
| Transmission Scanning Microscope (투과전자현미경) |
Resolution:0.28nm, Accelerating voltage:20～200KV |
상 분석 규명 |