기자재명 규격 용도
Electron Probe Micro Analyzer(EPMA)
(미소성분분석기)
Resolution : 6nm,
Acceleratingvoltage:0.5~50KV,
Magnification :x40~300,000
미세조직 성분분석기
Scanning Electron Microscope(SEM)
(주사전자현미경)
Resolution : 3.5nm,
Accelerating voltage :0.5~30KV
파단면관찰 및 미세조직분석
X-ray Diffractiometer X-ray 상분석등
광학 현미경 배율 : 50배-500배 미세조직관찰
상안실체줌현미경 1배- 50배 저배율파단면분석
Transmission Scanning Microscope
(투과전자현미경)
Resolution:0.28nm,
Accelerating voltage:20~200KV
상 분석 규명